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No Patent No Titel
1 EP1840926 Isolierende Vakuumdrehdurchführung für Rotationsmagnetrons
2 DE102006017455A1 Rohrkathode
3 EP1801843 Anlage und Verfahren zur Behandlung von Substraten
4 DE102005061563A1 Anlage zur Behandlung von Substraten und Verfahren
5 EP1780303 Vorrichtung und Verfahren zum Hochfahren der Leistung von mikrowellen linearen Entladungsquellen
6 DE102005055255A1 Verfahren zum Herstellen eines Targets
7 EP1582832 Vakuumbehandlungsanlage mit Umsetzbarem Wartungsventil
8 DE102005045717B3 Träger für ein Substrat
9 DE202006005011U1 Stromzuführung für eine Rohrkathode
10 DE102005045718A1 Träger für ein Substrat
11 EP1748946 ANLAGE ZUM BEARBEITEN VON PLATTENFÖRMIGEN SUBSTRATEN
12 EP1598660 Beschichtungsanlage mit einer Messvorrichtung für die Messung von optischen Eigenschaften von beschichteten Substraten
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IPC
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H Elektrotechnik

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