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No Patent No Titel
1 DE60127677T2 Elektronenstrahlvorrrichtung mit Mehrfachstrahl
2 DE60313282T2 Vorrichtung für geladene Teilchen mit Reinigungseinheit und Verfahren zu deren Betrieb
3 DE602004005442T2 Emitter für eine Ionenquelle und Verfahren zu dessen Herstellung
4 EP1826808 Teilchenstrahlgerät mit Ozon-Quelle
5 EP1798751 Schutzblende für geladenen Teilchen Emitter
6 DE60308482T2 Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung einer Probe eines Spezimen mittels eines Elektronenstrahls
7 EP1455380 Vorrichtung für geladene Teilchen mit Reinigungseinheit und Verfahren zu deren Betrieb
8 EP1622182 Emitter für eine Ionenquelle und Verfahren zur dessen Herstellung
9 EP1760761 Ladungsträgerstrahl-Emittiervorrichtung und Verfahren zum Betrieb einer Ladungsträgerstrahl-Emittiervorrichtung
10 EP1746629 Feldemitteranordnung und Reinigung einer emittierenden Oberfläche eines Feldemitters
11 DE69835089T2 Strahlrohr für geladene Teilchen
12 EP1705684 Stabilisierter Emitter und Methode, diesen zu stabilisieren
13 EP1473560 Vorrichtung und Verfahren zur Untersuchung einer Probe eines Prüfkörpers mittels Elektronenstrahls
14 EP0999573 Strahlrohr für geladene Teilchen
15 DE69924240T2 Ladungsträgerteilchenstrahlvorrichtung
16 EP1577926 Teilchenstrahlsystem mit hoher Stromdichte
17 EP1557866 Strahlenoptische Komponente mit einer teilchenoptischer Linse
18 EP1530229 Teilchenoptische Komponente für Teilchenstrahlapparat
19 EP1526563 Aperturblende für Teilchenstrahlapparat
20 EP1515359 Kammer mit geringer durch Elektronen stimulierter Desorption
21 EP1482532 GRADIENT-FELD ABLENKEINHEIT
22 EP1432008 Mehrachsige Verbundlinse, Strahlvorrichtung und Verfahren zur Anwendung dieser kombinierten Linse
23 EP1432007 Mehrachsige zusammengesetzte Linse, Strahlsystem mit dieser Linse, und Herstellungsverfahren für diese Linse
24 EP1150327 Mehrstrahl Ladungsträgerstrahlvorrichtung
25 EP0917177 Korpuskularstrahlgerät
26 DE19525081A1 Verfahren und Vorrichtung zum Testen der Funktion von Mikrostrukturelementen
27 DE4305672A1 Verfahren und Vorrichtung zum Testen von Netzwerken auf Kurzschlüsse und/oder Unterbrechungen
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